ロール測定用高性能レーザ干渉計の開発

■元工業試験場次長 中藪俊博
■機械金属部 廣崎憲一
■電子情報部 田村陽一
■(独)産業技術総合研究所 岡路正博 今井秀孝
■金沢大学大学院自然科学研究科 平尾政利 浅川直紀
■シグマ光機(株) 谷内秀夫 清水昭裕
■(株)松浦機械製作所 天谷浩一

緒  言
 工作機械には,テーブルなどの移動に伴って3個の位置偏差(位置決め偏差,運動方向に直角な2方向の直進偏差)と3個の角度偏差(ピッチ,ヨー,ロール),すなわち計6個の幾何偏差が発生する。レーザ測長機は,これらの偏差を高精度に測定できる装置として広く普及しているが,実用的な干渉計と反射鏡が開発されていないため,ロール測定は不可能である。著者らは,以前にロール測定用の反射鏡と干渉計を提案したが,種々の欠点があった。今回,これらの問題点の改善と感度の向上により,良好な再現性が得られることを確認したので実測結果を含めて報告する。


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