楕円振動アクチュエータによるガラスの割断加工

■機械金属部　○廣崎憲一　山下順広　高野昌宏　根田崇史　吉田勇太

１．目　的
　液晶テレビ用フラットパネルやハードディスクの基板など情報産業を支える素形材としてガラスが多用されている。これらの板ガラスを所定のサイズに分割する方法としては，従来より割断加工が行われている。産業用として一般的に用いられる割断方法は，ガラス基板表面に微小なV溝を形成し，次いで曲げ応力を加えて破断させる手法である。近年では，後工程となる曲げ破断工程を省くために，V溝形成時に発生する垂直クラックをより深く入れる手段として，突起状工具をミシン目状に押し込む手法が開発されている。そこで本研究では，圧電素子を用いた楕円振動アクチュエータを試作し，硬さ試験用圧子の加振によるガラスの割断加工を試みた。また，圧子の摩耗抑制における楕円振動の効果について検証したので報告する。

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