環境に優しい産業機械部品化のための高密度ナノ炭素膜の開発

■機械金属部 ○安井治之 鷹合滋樹
■(株)オンワード技研 瀧 真 長谷川祐史

1.目 的
 ダイヤモンドライクカーボン(DLC)膜は,高硬度,低摩擦係数なことから,機械や電子分野の部品や工具・金型等の表面改質膜として広く利用されている。しかし,近年では,DLC膜の高硬度化や低摩擦化により,製品を長寿命化したいとの要求が高まっている。そこで,本研究ではDLC膜の硬さと摩擦係数向上のためのアプローチとして,ダイヤモンドに近い構造(sp3構造)を持ち,膜中に含まれる水素含有量を極端に低減させ,膜表面に微粒子炭素(ドロップレット)がほとんど存在しない新しいDLC膜(高密度DLC膜)を成膜するため,フィルタードアーク蒸着(FAD)システムを改良した装置(X-FAD)の開発を行った。

全文(PDFファイル:337KB、2ページ)

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