光学機器用小型アクチュエータの開発

■機械金属部　○高野 昌宏　廣崎 憲一　新谷 隆二　吉田 勇太　南川 俊治

１．目　的
　電子・情報産業やバイオ産業などで用いられる光学式の測定機器では，高精度化やコンパクト化のニーズが一段と高まっている。このため，光学系で使用される駆動装置(アクチュエータ)には，電磁モータよりも小型で高分解能なアクチュエータの開発が望まれている。
　一方，超音波リニアモータは，構造が簡素で，高パワー密度であることから，小型化が容易であり，また停止安定性や応答性にも優れているなど，光学機器の駆動装置として適した性能を持っている。しかしながら，微小駆動時の制御性やモータ効率に問題があるため，実用化が進んでいない状況である。
　そこで，本研究では，超音波リニアモータの制御性や効率を改善できる独立励振型振動子を考案し，この超音波振動子を応用して光学機器用小型アクチュエータの開発を行った。

全文（PDFファイル：366KB、2ページ）

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