ヘテロダイン方式　高性能レーザ測長機の開発

■シグマ光機株式会社　自動応用製品部　干場 克宣

■技術開発の背景
　 半導体製造装置，FPD製造装置は絶えざる微細化要求が強く工作機械や産業用機械装置分野でも最近はナノ分野の精度を要求する市場が増加してきている。
シグマ光機(株)は
・平成5年度　ヘテロダイン式測長機(光周波数変調式試作機：ZYGO型)MEX出展
・平成18年度　地域新生コンソーシアム研究開発事業「熱負荷イミュニティを有する次世代型超精密NC制御法の開発」とレーザ測長機の技術を培ってきた。
　 ビートダウン方式を採用することによって，高速移動対応と分解能の両面において世界各社の製品性能を凌駕し，かつ安価なレーザ測長機を開発することで事業展開が可能になってきた。
　 本レーザ測長機は財団法人石川県産業創出支援機構，石川県工業試験場，株式会社横山商会の協力で開発を行った。

全文（PDFファイル：129KB、1ページ）

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