縦・屈曲超音波アクチュエータ用積層振動子の電極設計
■機械金属部 高野昌宏
■ニッコー（株） 滝本幹夫
■東京工業大学 中村健太郎
緒 言
超音波モータは圧電振動によって駆動するモータであり，低速・高トルクという点や音が小さい，停止保持力を有するなど電磁モータには無い特徴を有している。しかしながら，入出力特性(入力電圧と速度の関係)が非線形性を示すので，精密な制御が難しいという欠点を持っている。本研究では，良好な制御性，かつ低コスト製造を可能とするため，縦1次，屈曲2次振動モードを独立に励振できる積層振動子を提案した。本報では，提案した振動子の概要を述べると共に，モータ出力の向上を目的とした電極形状の最適化結果について報告する。
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