フィルタードアーク蒸着法により成膜した高密度DLC膜の機械的特性
■機械金属部 安井治之 鷹合滋樹
■（株）オンワード技研 瀧真 長谷川祐史
緒 言
ダイヤモンドライクカーボン(DLC)膜は，高硬度，低摩擦係数であるため，機械や電子分野で使われる部品や工具・金型等に広く利用されているが，その成膜方法の違いや成膜条件により，膜の物性や機械的特性，特に硬さが異なる。これは，膜中に存在する水素が大きく影響しているためである。そこで我々は，これまでの研究で，DLC膜のさらなる硬さ向上のアプローチとして図1に示すようにsp3結合の割合を高く維持しつつ，膜中の水素含有量を極力減らすことにより高密度DLC(HD-DLC)膜を作製した。
本研究では，この高密度DLC膜の基本的特性を評価し，15Nイオンビームを用いた共鳴核反応分析法により，膜中の厚み方向の水素分布を測定した。またアプリケーションの一つとして，アルミニウム合金用の切削工具に適用し，切削試験を行った。
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