窒化チタンを被覆した炭化タングステン-コバルト合金の残留応力測定に対するインプレーンＸ線回折法の適用
■機械金属部 鷹合滋樹 安井治之
■企画指導部 粟津薫
■金沢大学大学院自然科学研究科 佐々木敏彦 広瀬幸雄
■(独)物質・材料研究機構 桜井健次
研究の背景
TiN系コーティングによる表面改質は，工具や各種金型部品の耐摩耗性，耐疲労強度特性を向上させる技術として活用されている。ところが成膜時や使用中の外部負荷環境による残留応力発生が，膜の剥離やき裂の発生に影響し，材料の寿命を縮める恐れがあり，その解明が重要事項となっている。特にCVD(化学的気相蒸着法)-TiNを被覆した超硬合金(WC-Co)の場合，成膜時に発生する引張応力との関係を詳細に明らかにする必要がある。
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