弾性ヒンジを用いたリニア型超音波アクチュエータの開発（有限要素法による弾性ヒンジ構造の評価）
■機械金属部 高野昌宏 中島明哉
■企画指導部 多加充彦
■山梨大学 石井孝明
研究の背景
超音波アクチュエータを用いたリニアステージは，小型軽量，高分解能，非磁性対応が容易という特徴があることから，電子分野やバイオ分野などにおける新たな高精度位置決め装置としての応用が期待されている。しかしながら，超音波アクチュエータの設計は，その設計自由度の高さや連成振動が生じることによる固有振動モードの複雑さから，非常に困難な作業といえる。そこで，本研究では，超精密位置決め装置用のリニアステージに適用可能な高分解能，高推力の超音波アクチュエータを開発することを目的とし，簡便に設計可能な超音波アクチュエータ構造について検討を行った。
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