PZT圧電セラミックスの高パルス電圧印加時における疲労特性
北川賀津一・豊田丈紫・山名一男・北川和夫・山本孝
近年,圧電トランス,圧電アクチュエータおよび超音波モータなどのハイパワー用圧電セラミックスの需要が増加している。これらの素子は情報化時代に対応して小型でかつ薄型で使用されるために,ハイパワー用圧電セラミックスでは,発熱による温度上昇による電気的特性(電気機械結合係数(k
31
),機械的品質係数(Q
m
))の劣化と共振振動による機械的疲労破壊が問題となっている。
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