ハイブリッド型パルス・プラズマ・コーティング(ＨＰＰＣ)システムで創製した膜（研究テーマの紹介）

　ハイブリッド型パルス・プラズマ・コーティング(ＨＰＰＣ)
　システムで創製した膜

　粟津薫・安井治之・作道訓之・佐治栄治・岡崎健一・長谷川祐史・池永訓昭・佐藤貴之・南保幸男・斎藤和雄

イオンプレーティング法やイオン注入法では，工具・金型での深溝，内面等の複雑形状部への均一な成膜や表面改質が難しく，これらの課題を解決できる新たな技術開発が求められていた。そこで，北陸三県の産学官で構成したプロジェクトで，ハイブリッド型パルス・プラズマ・コーティング(HPPC)システムの研究開発を行い，開発したHPPCシステムを検証するため，ダイヤモンドライクカーボン(DLC)膜の成膜を行い，成膜した膜の特性を調べた。