平成12年度研究報告 VOL.50


 ハイブリッド型パルス・プラズマ・コーティング(HPPC)システムにより
 形成したDLC膜
 粟津薫・作道訓之・安井治之・佐治栄治・岡崎健一・長谷川祐史・池永訓昭・神田一隆・
 南保幸雄・斎藤和雄

現状のドライコーティング技術では,被加工物を自公転させる構造であり,被加工物の外面へのコーティングは可能であるが,内面や深い溝部などへの均一で,高密着性の膜が得られていない。そのため,新しい発想に基づいたコーティングシステムの開発が望まれていた。
そこで,北陸三県の産学官で構成した大型研究プロジェクトで,新エネルギー・産業技術総合開発機構(NEDO)の地域コンソーシアム研究開発事業に「ハイブリッド型パルス・プラズマ・コーティング(HPPC)システムの研究開発」を提案し,採択され,平成10〜12年度の3カ年で実施した。本報告は,HPPCシステムの研究開発に続く,第2報である。


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