小型積層超音波アクチュエータの開発

■機械金属部 ○高野昌宏 新谷隆二 中野幸一
■ニッコー(株)  安藤浩二 滝本幹夫

1.目 的
 近年,電子・情報産業の技術進歩に伴い,精密部品の更なる微細化,高集積化が求められており,ナノオーダの検査や加工を行う超精密位置決め装置の必要性が増加している。従来の電磁モータによる位置決め装置ではボールねじのバックラッシュ等の構造的な問題点のため,ナノレベルの精度を得ることは困難であった。また,機器の小型化に伴い,位置決め装置にも小型化・軽量化が求められている。このような背景から次世代の位置決め装置として超音波アクチュエータが期待されている。この超音波アクチュエータは,小型軽量,応答性が高い,作動音がしない,停止時の保持力が大きいなどの優れた特性を有している。また,原理上電磁ノイズを発生しないことから,非電磁性環境への応用も期待できる。しかし,摩擦駆動特有の制御性の複雑さから,ほとんど実用化されていないのが現状である。本研究では,超音波アクチュエータにおける摩擦駆動時の接触圧と送り量を個別に制御できる独立励振駆動方式を提案し,従来非線形であった極微動領域の駆動特性を線形化した制御性の良好な超音波アクチュエータの開発を目的とする。

全文(PDFファイル:106KB、2ページ)

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