電子ビーム蒸着法による多元金属化合物成膜プロセスの開発

■株式会社オンワード技研 研究開発室  大村 佳史

■技術開発の背景
  金型や切削工具の耐久性を向上させるため,Ti/Al/Crを組み合わせた多元金属膜を表面にコーティングする既存技術は,最適な組成比に調整した多元金属原料をアーク放電で蒸発させてワークに堆積させるものであるが,プロセスの欠点により膜の平滑稠密性や組成制御性が極端に悪く,仕上精度の厳格な金型やマイクロ工具には適応出来ない課題がある。

全文(PDFファイル:142KB、1ページ)

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