平成17年成果発表会要旨集  
研究・指導事例成果発表

 有機フィルムを用いたセンサの高機能化研究
 電子情報部  ○筒口善央 米澤保人 橘 泰至

 ガスセンサは,製造プロセスにおける雰囲気等のガス濃度管理,排出ガスにおけるNOx(窒素酸化物)やSOx(硫黄酸化物)等の環境影響ガス検知等の工業用途だけでなく,においの識別,ガス漏れ警報器,電子レンジやエアコン等の家庭電化製品まで広く使用されている。ガスセンサには電気化学式,水晶振動子式等の各種方式があるが,低価格で長寿命かつ安定な半導体式が広く普及している。しかし,図1に示すようにNH3(アンモニア)ガス用センサであっても他のガス種に反応するという問題がある。そのため,大気中の一般環境計測では誤検知・誤動作しやすい。本研究では,構造が簡便で選択性の高いセンサを開発するため,半導体ガスセンサの感応膜表面にガスのフィルターとして有機膜の塗布を試みた。検知ガス種としては,フロン代替冷媒やダイオキシン等の中和処理用触媒として需要が高まりつつあるNH3ガスに着目し,ガスセンサ素子とこれを搭載したNH3ガス計測器を試作した。


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