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各種産業界で使用されている工具，金型，機械部品などは，ますます高精度化，高機能化，長寿命化が要求されるようになっており，それに応えるため，材料の硬度や耐摩擦・摩耗特性を改善したDLC（ダイヤモンドライクカーボン）膜の実用化が進んでいる。 我々はこれまで，２次元形状だけでなく３次元複雑形状部材の表面に均一に成膜が可能であるPBII（プラズマイオン注入）法を用い，複雑形状物の外面および内面へのコーティング技術を開発してきた。この研究成果を利用し，新たに産学官（産：(株)オンワード技研、学：金沢工業大学、官：科学技術振興事業団、石川県工業試験場）の共同研究を行っている。 本発表では，その成果の一部であるRFプラズマによるDLC膜とマイクロ波プラズマによるDLC膜を交互に積層したハイブリッドDLC膜の特性について発表する。
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