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近年，電気機能電子部品の小型化が進んでいる。また機械工作における加工技術はミクロンからサブミクロンのオーダに入り，制御技術の必要性が高まっている。圧電アクチュエータは高速応答，変位の高分解能，小型，高剛性を持つので，動力分野デバイスとして注目されている。 本事業では，細胞操作などのバイオ分野への応用を目的に，圧電アクチュエータを組み込んだマニピュレータ装置の試作を行っている。このように動力分野デバイスの圧電セラミックスは優れた特徴を持つが，長時間の使用による疲労破壊が問題となっている。本研究では，試作したPZT(ジルコン酸チタン酸鉛，Pb(Zr,Ti)O3)圧電セラミックス(以下PZTと略す)にパルス電圧を印加し，共振振動させて，試料の温度上昇，圧電特性と試料破壊について検討した。
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