座屈平行板ばねを用いた超音波リニアモータの保持・加圧機構

■機械金属部 高野昌宏 廣崎憲一
■ニッコー(株) 滝本幹夫
■シグマ光機(株) 市村悟
■東京工業大学 中村健太郎

緒  言
 超音波リニアモータに用いる平板状振動子は,振動子自体は単純な構造であるが,モータとして用いるには振動子を保持し,且つ振動子をスライダに加圧・接触させる機構が必要となる。従来の保持方法としては,振動子の振動の節を弾性体で支持し,且つコイルばねにより振動子をスライダに押し付ける方法が用いられている。しかしながら,支持部で発生する摩擦減衰により振動が低下してしまうことや,加圧力が不安定になることなどが課題である。そこで,振動の低下が小さく,安定した加圧力の発生が可能な保持機構を開発することを目的に,座屈平行板ばねを用いた振動子の保持・加圧一体構造を提案した。本報では,提案した保持加圧機構の概要及び座屈現象を利用したばね特性並びに振動速度の低下の影響について述べる。


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