DLC膜中の水素の定量測定法（研究テーマの紹介）

　DLC膜中の水素の定量測定法

　■機械電子部　○安井治之　粟津薫
　■日本原子力研究所高崎研究所　楢本洋

　DLC（ダイヤモンドライクカーボン）被膜は工具や摺動部品の高寿命化のために近年実用化が進んでいる。しかし，DLC膜は膜中に存在する水素量の違いによって硬さなどの機械的特性が変化する。そのため，膜中の水素を定量的に測定し，膜の品質安定化を図っていくことが必要である。そこで本研究では，三次元イオン注入（PBII）技術を用いて作製したDLC膜に対し，高エネルギーイオンビーム技術を用いた共鳴核反応分析(RNRA)法と弾性反跳検出(ERDA)法の2種類の方法によって膜中の水素量を測定し，DLC膜の水素量測定技術としての有効性について評価した。


■	キーワード ■■■
	ダイヤモンドライクカーボン膜, 三次元イオン注入, 共鳴核反応分析法, 弾性反跳検出法, 水素

　Hydrogen Analysis Techniques for DLC Films

　Haruyuki YASUI, Kaoru AWAZU and Hiroshi NARAMOTO

The lives of machining tools and tribological parts have been considerably improved by DLC(Diamond-like Carbon) coating. Hydrogen is a very common contaminant in DLC films. It can strongly influence on mechanical, physical and chemical properties of the films. The analysis of hydrogen is therefore a crucial problem in the process of preparing the films with the required properties. Ion beam techniques using nuclear reactions are established methods for the quantitative determination of hydrogen concentration.
In this study, DLC films were formed by PBII(Plasma Based Ion Implantation), RNRA(Resonant Nuclear Reaction Analysis) and ERDA(Elastic Recoil Detection Analysis) were adapted to evaluate the hydrogen content in the DLC films.


■	Keywords ■■■
	DLC film, PBII, RNRA, ERDA, hydrogen

	全文（PDFファイル：126KB、4ページ）
	■簡易テキスト版

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