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ダイヤモンドライクカーボン(DLC)膜は，摺動特性がよく，摩擦・摩耗特性に非常に優れていることから，近年注目されている材料である。しかし，DLC膜は非鉄系材料に対して非常に有効な膜であるが，鉄系材料に対しては効果が薄い。そのため，産業界では鉄系材料に対しても有効な超硬質膜の創製が望まれている。超硬質膜が産業界で使用されるためには，膜の硬さ，相手材との摩擦係数および基板との密着性といった膜の機械的性質が重要である。そこで本研究では，次世代の超硬質膜であるBCN膜に着目し，その創製方法および硬さ，摩擦試験により機械的特性を評価した。
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