パイプ形状内面へのセラミックコーティング技術開発（平成15年成果発表会要旨集）

　パイプ形状内面へのセラミックコーティング技術開発

　■フジタ技研株式会社　開発室　人母　岳＊　岡崎　健一

　冷間鍛造用金型はますます複雑形状化し，かつ高精度が要求されるようになっている。特にユーザーサイドからはパイプ形状品の内径部分に対するハードコーティングの要求が多いが，従来のPVD法では内径のごく浅い部分までしかコーティングされず，また熱CVD法では寸法精度が劣ることからこの要求を満たすことができない。そこでPBII(プラズマイオン注入)法をベースに，パイプ内面にTi系セラミック膜をコーティングする技術開発を行った。