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−機械部品の新しいコーティング技術−
超硬質・低摩擦皮膜の創製と評価技術の開発
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| ■機械電子部 ○安井治之 粟津 薫 |
DLC(ダイヤモンドライクカーボン)膜は，硬くて，摺動特性に優れていることから，摺動部材として近年注目されているが，基板等との密着性が不足しているため，工具や金型への利用が制限されていた。そのため，当場では，イオンビームミキシング法を用いて，DLC膜の密着性改善の研究を行い，密着性の良いDLC膜の創製技術を確立した1)。
一方，産業界では，鉄系材料が多く利用されているが，DLC膜を摺動部品にコーティングした場合，摺動環境下で炭素の移着や拡散によりDLC膜が消失するため比較的寿命が短くなり，鉄系材料に対しても効果のある新しい硬質膜の開発が望まれている。超硬質膜が産業界で使用されるためには，膜の硬さ，相手材との摩擦係数および基板との密着性といった膜の機械的性質が重要である。
本研究では，鉄系材料との摺動特性に優れることが期待できるBCN(炭窒化ホウ素)膜を創製し，硬さ試験および摩擦試験により機械的性質の評価を)，また共鳴核反応分析(RNRA)法により膜中の水素量測定技術を検討した)。
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