技術ニュース

コーティングに新技術
ダイヤモンドに次ぐ硬いＢＣＮ膜の創製

ＢＣＮ膜と他の膜との比較

　工業試験場では，イオンビームを照射して，材料表面に優れた機能を持つ被膜をコーティングする技術について研究してきました。この度，硬さや摩擦係数などの機械的性質が特に優れたＢＣＮ膜をコーティングする技術の開発に成功しました。
　この技術は，炭素（Ｃ）とホウ素（Ｂ）を蒸着しながら，窒素（Ｎ）イオンを注入する方法で，この膜は，図のように従来のダイヤモンドライクカーボン（ＤＬＣ）膜よりも優れた性質を持つことが分かりました。
　ＤＬＣ膜は非鉄系材料を中心に実用化が進んでいます。ＢＣＮ膜は，今後，基礎研究を進めることによって鉄系材料に対しても威力を発揮することが期待されます。