■技術開発の背景
当社は長年，冷間鍛造用パンチ（図１）を熱CVDコーティング法で製造してきた。冷間鍛造時に，数十トンから数百トンの圧力がかかるため，膜の高い密着性が要求されるためである。しかし，熱CVD法は
1000℃前後の高温での処理のため熱ひずみが発生し，高精度が要求される金型等への適用には問題がある。
そこで，低温での処理（500℃以下）が可能であるPVDコーティング法に注目し，PVDコーティングの課題であるより密着性の高い膜が得られるコーティング装置を開発することとした。
■技術開発の内容
工業試験場と金沢工業大学（作道先生）のアドバイスを頂き，アークプラズマコーティングにRFプラズマとマイクロ波プラズマを重畳させたPVDコーティング装置を開発した（図２）。RFプラズマとマイクロ波プラズマを重畳させることにより，アークプラズマがさらに高密度・均一化するため，密着性がCVDなみに高まることを予想して装置開発を行った。
■製品の特徴
開発した装置でPVDコーティングを施したパンチをフィールドテストした結果，他社PVDコーティングパンチに比べて，その寿命が６倍以上高く（図３），コーティング膜の性能が高いことがわかった。
■今後の展開
| １． |
さらに密着性の高く，機能性の高い膜（複合膜等）を開発する。 |
| ２． |
量産用コーティング処理装置を増設する。 |
| ３． |
当社のパンチのコーティング処理を中心に初年度年間５０００万円の売上を見込む。 |
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| （図１） 冷間鍛造不用パンチ |
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| （図２） 開発したPVD装置 |
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| （図３） 開発したPVD膜の寿命比較 |
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