平面上の微小な凹凸を精密に測定 三次元表面粗さ計を導入

三次元表面粗さ計

　機械・電子部品などの｢表面粗さ｣や｢うねり｣を高精度に測定，評価するために，三次元表面粗さ計を新たに導入しました。
　この装置の特徴は，従来のように直線上の表面粗さを測定することに加えて，平面上の表面粗さや微小な凹凸形状を測定，評価することもできることです。
　今後は，依頼試験や技術指導などに積極的に活用していきます。
　・最大測定範囲：1ｍｍ
　・最小分解能：0.00064μｍ
　・Ｘ軸ストローク：120ｍｍ
　・Ｙ軸ストローク：50ｍｍ
　・触針先端半径：2μｍ
　・評価パラメータ：JIS,ISO規格に準拠

担　当：機械電子部　廣崎憲一