| (1)非接触３次元表面粗さ計 |
| ［メーカ・型式］ |
ザイゴ社（米）・New View 5032 |
| ［仕様］ |
・最大測定範囲：130(X)×130(Y)×5(Z)mm
・垂直方向分解能：0.1nm
・対物レンズ：2.5×、10×、50×、100×
・水平分解能：1.18μm(10×)、0.64μm(50×) |
| ［用途］ |
光の干渉現象を利用し、0.1nmの垂直分解能で、触針式で測定できないナノ・マイクロ加工部品や柔らかい部品などの表面粗さや微細形状の非接触測定を行います。また、拡張機能により、最大5mmの段差測定や最大130mm角の表面形状測定が可能です。 |
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| (2)精密レーザ測長システム |
| ［メーカ・型式］ |
レニショー社（英）・ML10 |
| ［仕様］ |
・分解能：1nm
・測定精度：±1.1ppm
・位置決め測定範囲：0〜40m
・追従速度：60m/min |
| ［用途］ |
レーザ光の波長を基準とする波長干渉測長によって、ＮＣ工作機械や三次元測定機の検査、校正を行う測定機で、各種光学ユニットを用いることにより、角度偏差測定、振動解析、速度計測なども高精度で行うことができます。 |
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| (3)セラミックス成形加工機 |
| ［メーカ・型式］ |
（株）マルトー・MX-833 |
| ［仕様］ |
・主軸回転数:0〜3600rpm、無段変速
・テーブル左右移動量：230mm（自動）
・テーブル前後移動量：100mm
・主軸上下移動量：135mm
・主軸上下切り込み量：最小 0.001mm |
| ［用途］ |
構造用セラミックスと言われる難削材料（窒化珪素・炭化珪素）や超硬金属の研削、及び切断をします。 |
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