非接触でも表面粗さ、真円度、平面度の測定ができます。
やわらかい部品でも傷がつきません。
光ファイバーを利用すれば、測定位置の制限を受けません。
測定機上でも工作機械上でも加工物の表面凹凸を測定できます。

工業試験場では、非接触での表面形状測定方法の研究を行っています。