平成17年度研究外部評価（事後評価）

整理番号	テーマ名	評価点	総合評価
０５－Ｃ１	微細加工機のためのナノ制御アクチュエータの開発	9.8	Ｂ
研究期間	平成15年度～平成16年度（2ヵ年）
研究概要	高精度な微細加工に必要なナノスケール単位で変位を制御できるアクチュエータを開発する。
外部評価委員のコメント
・複合振動による加工や超音波アクチュエータによる駆動という発想は大変ユニークで面白い｡実用化に向けてクリアしなければならない課題を明確にしてその解決に取り組んで下さい。
・研究のねらい目としては非常に良かったのではないか。ただ実用化に対し何％達成しているのか不透明であった。
・目標設定が見えない。単に期間目標では困る。成果の利用が見えない。
・斜めスリット方式で全ての工具に対応可能ですか。　・製品化進出分野の微細加工の要求精度と比較したら良いのではないか。
・成果の利用の方向がいま一つ明確でないと思います。
・他に優れた方法もあると思われる。他の方法とのメリットデメリットを明確にして下さい。　・負荷のかからないものの方がよいのでは。機械を生かした用途をみつけて下さい。
・コンタミ、省スペース性、騒音、精度、コスト、耐久性、速度、在来方法との差異を明確にして優位性が明瞭となる事をアピールする事が望ましいです。他に無い機構と推測しますので期待してます。
・位置決め精度の検証、他の機構と比較したときの有利性についての記載がほしい。
・今後、要求されるであろう高精度加工を達成するための高精度位置決めには不可欠な技術であり、超音波振動を利用した楕円運動機構には高いオリジナリティ性が認められる。この機構の評価法としては、垂直機構での使用が可能なことや現状超精密位置決めに使用される場合が多いリニアモータ駆動と比較し、優位性を示すことができればよりアピール性が向上するものと感じられる。
・新しい加工モジュールやリニアアクチュエータの構造を開発したことは高く評価したい｡こういう新しい要素をシーズから開発したものについての評価はもう少し違う評価項目でよいのではないか。必ずしも最初から明確な目標性能があって、それを達成するためのものを開発したというやり方とは違うように思う。